中微公司又有一項(xiàng)大動作。

近期，中微公司控股子公司超微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）與上海臨港新片區(qū)管委會簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，將在臨港建設(shè)電子束和光學(xué)量檢測設(shè)備研發(fā)制造基地項(xiàng)目，項(xiàng)目總投資10億元。

據(jù)芯辰大海不完全統(tǒng)計，如果算上超微公司準(zhǔn)備建設(shè)的“電子束和光學(xué)量檢測設(shè)備研發(fā)制造基地”，那么中微公司將有5大生產(chǎn)基地，其他四大分別是：中微金橋生產(chǎn)基地、中微上海臨港生產(chǎn)和研發(fā)基地、中微南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地、中微成都生產(chǎn)基地暨西南總部。

那么，中微公司這五大基地的現(xiàn)狀究竟如何呢？芯辰大海從中微公司財報、中微公司官網(wǎng)、官方媒體報道等收集了與之相關(guān)的公開信息，以供讀者分析。

一、中微金橋生產(chǎn)基地：總部基地

上海金橋是中微公司當(dāng)前的總部所在地，總面積約為3萬平方米。從公開資料來看，上海金橋應(yīng)當(dāng)兼具總部和生產(chǎn)基地的功能，是中微公司在上海臨港生產(chǎn)和研發(fā)基地、南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地投產(chǎn)前的主要生產(chǎn)基地。

中微公司上市后，可能對金橋基地進(jìn)行了升級，當(dāng)時在招股書說明書中，中微公司的表述是：公司擬使用本次發(fā)行的部分募集資金用于以下項(xiàng)目：①高端刻蝕設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級（包括Primo AD-RIE、Primo SSC HD-RIE和Primo nanova 等）；② 高端MOCVD 設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級（包括高產(chǎn)能藍(lán)綠光 LED MOCVD、高溫 MOCVD、硅基氮化鎵功率應(yīng)用MOCVD、基于LED顯示應(yīng)用的 MOCVD設(shè)備 等）。

不過，金橋基地的具體產(chǎn)能未知。

二、中微上海臨港生產(chǎn)和研發(fā)基地：未來核心

中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目地塊總占地面積約157.5畝，規(guī)劃總建筑面積 約180,000 ㎡，目前該基地的生產(chǎn)和研發(fā)基地主體建設(shè)已基本完成，并于2024年 8 月正式投入使用。

依據(jù)該項(xiàng)目的環(huán)評報告，中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地是一個綜合性的生產(chǎn)基地，能生產(chǎn)刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、MOCVD等在內(nèi)的中微公司當(dāng)前的主要產(chǎn)品。

產(chǎn)能方面，依據(jù)中微公司的定增公告，中微產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目（包括臨港生產(chǎn)和研發(fā)基地和南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地）等離子體刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備、熱化學(xué)CVD設(shè)備等產(chǎn)品的產(chǎn)能規(guī)劃情況分別約為630腔/年、120腔/年、 220 腔/年、180腔/年。

需要注意的是，目前中微上海臨港生產(chǎn)和研發(fā)基地已經(jīng)投產(chǎn)的項(xiàng)目，可能只是一期項(xiàng)目。因?yàn)闊o論是環(huán)評報告還是財報，對其的稱呼都是“臨港產(chǎn)業(yè)化基地一期項(xiàng)目”，從命名方式來看，該項(xiàng)目可能會有二期。

三、中微南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地：專注于MOCVD

南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡稱“南昌中微”）是中微公司的全資子公司，于2017年12月注冊于南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，主要產(chǎn)品有用于 LED和功率器件外延片生產(chǎn)的 MOCVD 設(shè)備。

截至2018 年12 月31日，中微南昌的總資產(chǎn)為71,563.51 萬元，凈資產(chǎn)為5,849.64 萬元，2018 年凈利潤為5,640.15萬元。

一期工程

南昌中微公司于2018年3月在南昌開始設(shè)備制造，9月實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)，2018年、2019年兩年實(shí)現(xiàn)年均產(chǎn)能100腔，年均產(chǎn)值10個億。公司于2019年通過了ISO9001、ISO14000、ISO45000體系認(rèn)證。

二期工程

根據(jù)中微公司2020年發(fā)布的定增報告，以及公司官網(wǎng)的介紹。南昌中微生產(chǎn)研發(fā)基地項(xiàng)目（項(xiàng)目二期）總投資約10億元，總建筑面積約14萬平方米，新廠房已于2022年5月逐步投產(chǎn)，并于2023年7月正式投入使用。依據(jù)中微公司的定增報告，二期項(xiàng)目的MOCVD產(chǎn)能可能是120腔/年。

四、中微成都生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目：專注于薄膜設(shè)備

近期，中微公司宣布擬在成都市高新區(qū)投資設(shè)立全資子公司中微半導(dǎo)體設(shè)備（成都）有限公司，建設(shè)研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目，預(yù)計2025至2030年期間項(xiàng)目總投資約30億元項(xiàng)目總投資約 為30.5 億元。

中微公司表示，該基地將專注于高端邏輯及存儲芯片相關(guān)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，涵蓋化學(xué)氣相沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備及其他關(guān)鍵設(shè)備。

中微公司預(yù)計，該項(xiàng)目將在2025 年啟動建設(shè)，2027 年正式投入生產(chǎn)。預(yù)計到 2030 年，中微半導(dǎo)體設(shè)備（成都）有限公司的年銷售額將達(dá)到 10 億元。

五、超威公司臨港電子束和光學(xué)量檢測設(shè)備研發(fā)制造基地

近期，超微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）與上海臨港新片區(qū)管委會簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，將在臨港建設(shè)電子束和光學(xué)量檢測設(shè)備研發(fā)制造基地項(xiàng)目，項(xiàng)目總投資10億元。

據(jù)臨港新片區(qū)網(wǎng)站介紹，超微公司主要聚焦電子束關(guān)鍵尺寸量測（CD-SEM），電子束缺陷檢測（EBI），電子束缺陷復(fù)檢（DR-SEM）和高端光學(xué)量檢測等集成電路重大設(shè)備的技術(shù)開發(fā)和產(chǎn)品的市場化，并探索人工智能在圖像處理，設(shè)備智能化方面的廣泛應(yīng)用。

企查查顯示，超微公司是中微公司的控股子公司，持股比例為60%。目前尚不清楚超微公司是否有其他大型生產(chǎn)基地。